本报讯（记者 石慧 通讯员 王思）日前，绍兴芯链半导体科技有限公司（以下简称“绍兴芯链”）在柯桥举行发布会，正式宣告国内首片国产光罩保护膜诞生，实现国产光罩保护膜产品“零”的突破。这对于中国半导体光罩领域来说具有深远意义，是整合半导体光罩材料产业链的重大突破。
绍兴芯链位于杭绍临空经济一体化发展示范区绍兴片区内，主要从事光罩材料产业链产品的研发、生产和销售。令人振奋的是，该项目于2023年5月29日土地摘牌，1个月开工建设，10个月完成结顶，12个月试运行，成为“柯桥速度”的又一样板。
记者了解到，此前，光罩保护膜一直都是“卡脖子”技术难题：配方方面，国内尚无厂商生产，完全依赖进口；工艺方面，旋涂、烘干等技术复杂，厚度、透光率等要求严苛。而绍兴芯链致力于整合光罩材料全产业链，是目前全国唯一能生产光罩保护膜、BIM及PSM光罩基板的厂家。
“从研发到试生产，再到产品的最终呈现，每个环节都凝聚了芯链每位同仁无尽的心血。”绍兴芯链总经理李佳珍看到团队的努力终于“结果”感慨万千。她说，未来公司将继续跟随国家半导体行业发展战略，围绕高端半导体材料提供更高质量的产品，持续加大研发投入，逐步实现先进光罩上游材料的量产，成为国内领先、国际一流的半导体材料标杆企业。