光刻机“羲之” 在余杭诞生

记者 周辰璐

8月13日，首台国产商业化电子束光刻机在余杭进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

这款光刻机名叫“羲之”，因为其精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。” 研发团队相关负责人介绍，这台设备通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线宽8纳米，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，能在头发丝上雕刻出整座城市地图。