“一阳指”重出江湖 0.1纳米级技术打破国外垄断

6月25日,天下英雄共聚杭州

2025-06-20

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6月25日,江湖再起波澜。

第九届中国杭州大学生创业大赛首设“2025杭州全球青年创业者武林大会”,诚邀天下青年侠客相聚杭州,共商创新创业大计。

6月13日起,《武林大会》陆续发布“英雄谱”,介绍闯进第九届中国杭州大学生创业大赛总决赛的武林高手,以及他们与杭州的不解之缘。

今天,走进陕西青年侠客——刘佩珊的“创业武林”。

侠客

刘佩珊

绝招

0.1纳米级离子注入技术

门派

匠工局(先进制造)

记者 邵婷

“但见他手臂颤动,犹如蜻蜓点水,一口气尚未换过,已点完任脉各穴,这二十五招虽然快似闪电,但着指之处,竟无分毫偏差。”在《射雕英雄传》中,“南帝”一灯大师的专擅指法——“一阳指”,出指可缓可快,缓时潇洒飘逸,快则疾如闪电,但着指之处,分毫不差。

当今武林,也有人凭着这套“指法”,在高手如林的创业大赛中脱颖而出。

第九届中国杭州大学生创业大赛上,陕西女侠刘佩珊带着Ashe高性能碳化硅制备器件项目闯进了总决赛。这套精妙的“指法”,便是“离子注入技术”,精度高达0.1纳米级,能显著提升碳化硅器件的性能和可靠性,一举打破国外技术垄断。

打破国外技术垄断

何为碳化硅?

第三代半导体材料,具有高热导率、高电子饱和漂移速度的特性,广泛应用于新能源汽车、5G通信、光伏发电以及工业电源等领域。

碳化硅器件的制备,离不开高性能的离子注入机,长期以来,这一设备一直被国外厂商垄断。

刘佩珊团队练就的“一阳指”,成功攻克了碳化硅高温离子注入机的关键技术难题,开发出了具有自主知识产权的高性能离子注入机系列产品。

这套“指法”,共有四招——

1.高精度离子注入技术

精度高达0.1纳米级的离子注入技术,远超传统设备的精度水平,极大提高了器件的良品率。

2.多象限堆叠晶圆处理技术

在一片晶圆的4个象限同时注入不同剂量的离子,不仅能提高生产效率,还能提升晶圆处理数量,适用于12英寸晶圆的大规模生产。

3.光电扫描电镜溯流监控技术

微秒级注入工艺修正,能在极短时间内对注入过程进行实时监控和调整,确保注入的均匀性和稳定性,大幅度缩短工艺修正时间。

4.电场差速离子注入实时调控技术

提升离子束流的稳定性和一致性,确保生产效率提升27%,废品率下降35%。

“我们一直在推动我国半导体产业的自主可控发展。”刘佩珊介绍,比如,与比亚迪合作,通过定制工艺参数和批量芯片注入,实现整车效率提升13.2%,整车续航提升约30公里。

在杭州,青年创业者拥有无限可能

下周,刘佩珊将赴杭州参加武林大会和第九届中国杭州大学生创业大赛总决赛。

“参加武林大会,机会难得。”刘佩珊透露,目前,团队已经与杭州的半导体企业和科研机构达成了初步合作意向,计划在杭州设立一个研发中心和成长基地,推动项目成果在杭州落地、应用。

杭州有何吸引力?

“杭州作为我国重要的科技创新中心和数字经济高地,拥有丰富的产业资源和人才优势,为项目落地和发展提供了良好的基础。”这是刘佩珊的答案。

“创业是一个不断学习和成长的过程,只有保持学习的热情,不断提升能力和素质,才能在创业的道路上走得更远。”在她看来,“杭州是一座充满创新活力和创业机会的城市,在这座城市,青年创业者拥有无限可能”。

武林大会,恭候大驾

6月25日,2025杭州全球青年创业者武林大会即将举办。这是一个能取“创业真经”、好逛、好玩又好吃的江湖盛会。即日起至6月24日中午12:00,扫码进入橙柿互动橙友圈“我们大杭州”,带#武林大会#标签发帖,说说杭州的创业或者生活环境,我们将抽取30个人,送出“人社小灵光”抱枕和托特袋组合各一套。

温馨提醒:“人社小灵光”抱枕和托特袋组合需在武林大会现场领取。